產品介紹

角位移臺都基于SmarAct的壓電驅動技術。角位移臺有不同的半徑。除了它們的緊湊性,這些位移臺是非常剛性的,因此非常適合微米或納米定位任務。

由于采用高精度交叉滾子軸承,其角精度非常高。角位移臺在其±5°的整個工作范圍內提供優秀的運動分辨率。

SGO-60.5-角位移臺

SGO-60.5角位移臺可輕松堆疊在SGO-77.5角位移臺的頂部,形成一個歐拉架,其旋轉共同點在工作平臺上方60.5毫米。

SGO-77.5-角位移臺

精確而緊湊的角位移臺SGO-77.5可直接安裝在SLS-52線性位移臺的頂部,或與SGO-60.5角位移臺結合使用時可作為歐拉架的底座。

SGO-93.5-角位移臺

SGO-93.5的頂部平臺和旋轉中心之間的距離為93.5 mm,即使對于較大的部件或子平臺,也提供了足夠的空間。

通過將兩個平臺與合適的半徑結合起來,可以構建一個具有共同旋轉中心的緊湊型歐拉架角位移臺。
它們的機械接口適合SLS-52模塊化系統。因此,允許通過線性位移臺,旋轉臺和角位移臺的直接組合來創建多軸系統。角位移臺可以通過我們的任何控制單元進行操作,也可以與集成的定位傳感器一起使用。此外,SGO系列可用于不同的環境條件,例如高真空和超高真空環境。
SGO系列包括三個角位移臺:SGO-60.5,SGO-77.5和SGO-93.5。前兩個可以直接安裝在彼此的頂部,以形成歐拉架角位移臺。由于半徑大,后一個是用于復雜子系統或較大部件的理想傾斜平臺。在上面描繪的渲染圖中,綠色球形表示給定角位移臺或系統的旋轉中心。
可以對SGO系列角位移臺進行修改以適合特定要求,并且可以對其進行定制以集成到現有裝置中。我們已經設計了許多定制解決方案,其中包括角位移臺。請隨時與我們聯系,為您的應用找到理想配置。我們期待與您討論您的個人要求。

應用實例

具有六個自由度的模塊化定位系統,包括三個旋轉自由度

SGO系列的角位移臺與SmarAct的模塊化系統完全兼容。這樣就保證了將角位移臺與線性位移臺和旋轉臺組合在一起以實現復雜定位系統的可能性。

在右圖所示的示例中,兩個SLS-5252線性位移臺形成一個XY平臺,并由CHS-5237垂直平臺作為Z軸進行補充。XYZ系統的頂部安裝了兩個角位移臺SGO-60.5和SGO-77.5,以及一個SR-5014旋轉臺。由于匹配的外部尺寸和安裝孔樣式,三個旋轉臺具有相同的旋轉中心(由綠色球體表示)。

該定位系統適合作為衍射實驗的樣品臺,因為旋轉中心可以精確地定位在31 x 31 x 10mm3的體積內。

具有5 自由度的定位系統,用于重型負載或子位移臺系統

如果預期的應用場景要求在XY和Z軸上有較大的行程范圍,則兩個SGO系列角位移臺也可以與專為較長行程范圍和較重負載而設計的三軸定位系統結合使用。在左邊的示例中,兩個SLS-9292線性位移臺(每個行程為63 mm)與一個SLS-5252線性位移臺作為Z軸組合在一起。恒力彈簧裝置支撐Z軸,并進一步提升其提升力。通過這種復雜的設計,可以以理想的精度將歐拉架角位移臺(綠色球體)的旋轉中心定位在61 x 61 x 31 mm3的大體積內。