介紹
SmarAct的混合驅(qū)動(dòng)將粘滑驅(qū)動(dòng)和壓電掃描的優(yōu)點(diǎn)結(jié)合在一個(gè)單一而緊湊的設(shè)備中。混合驅(qū)動(dòng)結(jié)合了這兩種設(shè)備類型的優(yōu)點(diǎn)，將一個(gè)專用的壓電掃描器集成到一個(gè)微小的粘滑位移臺(tái)中，而不是將兩個(gè)專用位移臺(tái)堆疊在一起。這帶來(lái)了一個(gè)優(yōu)點(diǎn)，即粘滑驅(qū)動(dòng)器和掃描驅(qū)動(dòng)器都可以使用相同的反饋信號(hào)進(jìn)行閉環(huán)定位。
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DLS-3252 -混合驅(qū)動(dòng)
基于SmarAct混合動(dòng)力技術(shù)的小型線性位移臺(tái)，與SLS-32模塊化系統(tǒng)完全兼容。
DLS-5282 -混合驅(qū)動(dòng)
混合驅(qū)動(dòng)位移臺(tái)結(jié)合了長(zhǎng)行程粘滑驅(qū)動(dòng)位移臺(tái)和高分辨率壓電驅(qū)動(dòng)位移臺(tái)的優(yōu)勢(shì)。
SmarAct的混合驅(qū)動(dòng)技術(shù)在一個(gè)緊湊的設(shè)備中結(jié)合了粘滑驅(qū)動(dòng)和壓電掃描驅(qū)動(dòng)的優(yōu)勢(shì)。
雖然經(jīng)典的粘滑驅(qū)動(dòng)式位移臺(tái)可提供毫米級(jí)的行程，但其無(wú)振動(dòng)的掃描范圍僅限于幾微米。另一方面，基于壓電掃描驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)可提供更大的掃描范圍，但無(wú)法更改掃描區(qū)域的位置。
混合驅(qū)動(dòng)器通過(guò)將專用的壓電掃描驅(qū)動(dòng)器集成到SmarAct粘滑驅(qū)動(dòng)位移臺(tái)中，而不是將兩個(gè)專用的位移臺(tái)堆疊在一起，從而結(jié)合了兩種設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)。
這帶來(lái)的優(yōu)勢(shì)是，粘滑驅(qū)動(dòng)器和掃描驅(qū)動(dòng)器都可以使用相同的反饋信號(hào)進(jìn)行閉環(huán)定位。通過(guò)結(jié)合機(jī)械部件和兩種設(shè)備類型的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，混合動(dòng)力驅(qū)動(dòng)器僅獲取MCS2控制系統(tǒng)的單個(gè)通道，這使其成為需要將大行程范圍與精確定位或準(zhǔn)確的掃描相結(jié)合的應(yīng)用的經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。如果需要更高的掃描頻率，則可以分離粘滑驅(qū)動(dòng)和掃描驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
DLS混合驅(qū)動(dòng)產(chǎn)品系列的各個(gè)位移臺(tái)是一個(gè)全新的定位器系列，旨在與SmarAct模塊化系統(tǒng)完全兼容。寬度為52 mm的混合驅(qū)動(dòng)平臺(tái)可與SGO角位移臺(tái)和SLS-52線性為一天以及兼容的旋轉(zhuǎn)臺(tái)結(jié)合使用。
這種兼容性不僅允許將模塊化系統(tǒng)連接元件與混合驅(qū)動(dòng)位移臺(tái)一起使用，而且還可以在多維定位系統(tǒng)中將它們與壓電驅(qū)動(dòng)位移臺(tái)并排使用，從而可以為特定定位選擇理想的驅(qū)動(dòng)技術(shù)每個(gè)軸的任務(wù)。如果需要大行程，則SLS產(chǎn)品系列的粘滑驅(qū)動(dòng)位移臺(tái)是一種經(jīng)濟(jì)高效的選擇。而當(dāng)需要較大的行程范圍和較大的掃描范圍時(shí)，DLS混合驅(qū)動(dòng)器都是理想解決方案。
應(yīng)用實(shí)例
| XYZ DLS-3232 | XYZ SLS-3232 | |
|---|---|---|
| 驅(qū)動(dòng)類型 | 混合型 | 粘滑驅(qū)動(dòng) |
| 自由度 | 3 | 3 |
| 線性位移臺(tái)XYZ | DLS-3232 | SLS-3232 |
| 行程XYZ[mm] | 21 | 21 |
| 掃描范圍XYZ [μm] | >10 | >1.5 |
| 有效載荷[N] | 1.5 | 1.5 |
| 分辨率MCS2 [nm] | 1 (S) | 1 (S) |
| 尺寸[mm],?長(zhǎng)?x?寬?x?高 | 47 x 32 x 37 | 47 x 32 x 35 |
